如何選(xuǎn)購氣體流量(liang)計
1、注(zhu)意選擇正确(què)的品牌
2、注意(yi)選擇正确的(de)量程
A.将(jiāng)您需要的流(liú)量換算成标(biao)準狀态下的(de)流量
()。
B.根據廠(chang)家提供的質(zhì)量流量轉換(huan)系數表,将您(nín)所用🥵氣體的(de)質🤞量流量值(zhí)換算成與氮(dan)氣
(标定(dìng)氣休
)等(děng)價的質量流(liu)量值
.
如(rú)果您希望按(àn)您實際使用(yòng)的氣體标定(ding),請向廠家說(shuō)明。
C.确定(dìng)所需标準量(liàng)程。廠家一般(ban)有自己的各(gè)種規格的标(biao)準量程,您實(shi)際使用的流(liu)量大值應低(di)于某個🌈标準(zhun)量程🔅值。
标準量程的(de)選取要避免(mian)過大或過小(xiao)。質量流星的(de)誤差指标是(shi)🔴按滿量程值(zhi)的百分比規(gui)定的,如果實(shí)際流量較小(xiǎo)而雖程值
3、注意(yì)選擇正确的(de)工作壓力指(zhi)标
不同(tóng)的産品工作(zuò)壓力指标可(ke)能不同,注意(yi)選擇适合自(zi)己的産品。質(zhì)量流量控制(zhi)器
(MFC)除大(da)工作壓力之(zhī)外,還
有(you)另一項工作(zuò)壓力指标:工(gong)作壓差,即
MFC
4、注意(yi)選擇合适的(de)精度指标
準确度、線(xian)性、重複精度(dù)是比較重要(yao)的幾項指标(biāo),其中⁉️重複精(jing)度🤟在很多應(yīng)用場合尤爲(wèi)重要。指标不(bú)一定追求
考慮自己(jǐ)的實際需要(yào)。
5、注意選(xuan)擇合适的響(xiang)應時間指标(biao)
有的應(yīng)用系統對
MFC的響應時(shí)間有較高的(de)要求,用戶應(ying)根據自己的(de)情況加以考(kao)慮。在考慮響(xiǎng)應時間指标(biao)的同時,
還應注意其(qi)響應過程及(ji)動态特性。
6
有(you)的廠家的産(chan)品必須水平(ping)位置安裝。
7、注意氣體(ti)對于密封材(cái)料的要求
Warwick
8、注意零點的(de)穩定性
對于計量産(chǎn)品而言,零點(dian)的穩定性是(shi)非常重要的(de),也是較難保(bǎo)證的。不同的(de)産品零點穩(wěn)定性可能是(shi)不一樣的。
g
MFM/MFC
10、訂貨(huò)應注明
:
産品名稱、型(xíng)号、流量規格(gé)、标定氣體、使(shǐ)用氣體
(特别是腐蝕(shi)性氣體
)、接頭形式和(he)數量。
不(bú)同氣體如何(hé)換算流量
?
氣體質量(liàng)流量控制器(qì)産品出廠一(yī)股是按氮氣(qì)标定、按🐕氮氣(qi)流量确定流(liu)量規格。用同(tóng)一規格的
MFM/MFC
測量不同(tong)的氣體,當流(liu)量檢測值相(xiàng)同時,實際的(de)流🌈量值可🏃能(neng)不同。我們在(zai)說明書中給(gei)出了不同氣(qi)體🏃🏻相對♊于标(biao)定氣🔱體
(氮氣
)
的(de)質量流量轉(zhuan)換系數。
·如果您使用(yòng)的産品是标(biao)準出廠産品(pin)
(按氮氣(qi)标定顯示
),而需要知(zhi)道實際使用(yong)氣體的質量(liang)流量時,先在(zai)産✉️品使用手(shǒu)冊
中找(zhǎo)到實際使用(yong)氣體的轉換(huan)系數。在測量(liang)過程中,以此(cǐ)⛹🏻♀️系🚶數乘以流(liú)量顯示值即(ji)是實際使用(yong)氣體的質量(liang)流量🈚;反之,在(zai)确
定所(suo)購産品的量(liàng)程時,以實際(ji)使用氣體的(de)大期望流量(liàng)🔞值除以轉換(huàn)系數,即是相(xiang)應的氮氣标(biāo)定産品的流(liu)量值。對于多(duō)組
分氣(qì)體,其流量轉(zhuan)換系數問題(ti)請根據産品(pǐn)使用手冊中(zhong)提供的🍉計算(suàn)公式計算,或(huo)向廠家進行(hang)技術咨詢。