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産(chǎn)品時間：2025-12-01
FS4001系列測量氣體流(liu)量傳感器是專門(men)爲各類小流量氣(qi)體的測量🍉和過程(cheng)控制而設計的。這(zhe)一系列傳感器均(jun1)采用本公司自主(zhǔ)研發的微機電系(xi)統（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于各(gè)類清潔氣體。
簡介：
FS4001系列(lie)測量氣體流量傳(chuán)感器 是專門(men)爲各類小流量氣(qi)體的測量和過程(chéng)控制而設計的♌。這(zhè)一系列傳感器均(jun1)采用本公司自主(zhu)研發的微機電🌂系(xi)統（ MEMS ）流量傳感(gan)芯片來制作。
産品特點：
-
,
有極小的始(shǐ)動流量
,
無需溫度壓力補(bǔ)償
,
使傳感器的量(liàng)程比大大提高
-
-
全(quan)量程高穩定性
-
-
低壓損
-
響(xiǎng)應時間快
主(zhǔ)要參數：
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性能參數(shù) |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
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500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複(fú)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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|
輸出飄移 |
±0.12 |
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響(xiang)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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8~18Vdc,50mA |
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線性，RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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350 |
|
pa |
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0.5 |
MPa |
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工(gong)作溫度 |
-10 ~ +55 |
|
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
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工作濕度 |
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機械接口(kǒu) |
可拆式軟管接頭(tou) |
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校準方式 |
空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
