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FS4001系(xi)列小流量氣體(ti)質量流量傳感(gǎn)器

産品時間：2025-12-01

簡(jian)要描述：

FS4001系列小(xiǎo)流量氣體質量(liang)流量傳感器是(shì)專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測(cè)量和過程控制(zhì)而設計的。這一(yi)系❗列傳感器均(jun)采😍用本公司自(zì)主研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來制作(zuo)，适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yòng)于各類管徑，成(cheng)本低、易✊安裝、不(bu)需🙇‍♀️要溫度壓力(li)補償，可替代容(róng)積式或壓差式(shì)的傳統流量傳(chuan)感器。

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産品簡介(jie)：

FS4001系列小流量氣(qi)體質量流量傳(chuan)感器 是專門爲(wèi)各類小流量氣(qì)體的測量和過(guo)程控制而設計(ji)👄的。這一⚽系列傳(chuan)感器均采用本(běn)公司自主研發(fa)的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感💋芯片(pian)來制作，适用于(yú)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lèi)管徑，成本♍低、易(yi)安裝、不需要溫(wen)🈲度壓力補償，可(kě)替代💋容積式或(huo)壓差式的傳統(tong)流量傳感♊器。

産(chǎn)品特點：

FS4001系(xì)列小流量氣體(tǐ)質量流量傳感(gan)器 靈敏度高,有(yǒu)小的始動流量(liang)傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計🙇🏻量,無需溫度(du)壓力補償,保證(zhèng)了傳感器的高(gao)精度計量在單(dan)個芯片上實現(xian)了多傳感器集(ji)成,使傳感❄️器的(de)量程比大大提(ti)高💚傳感器❄️的零(líng)點穩定度高全(quán)量程高穩定性(xing)全量程高精确(què)度和優良的重(zhong)複性低功耗低(di)壓損響應時間(jian)快
主要參數：

性(xing)能參數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(cheng)比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械(xie)接口	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校準方(fāng)式	空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

機械(xie)尺寸：

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