産(chan)品時間:2025-12-01
微小氣體流(liu)量計FS4001專門爲各(gè)類小流量氣體(tǐ)的測量和過程(cheng)📱控制而設計的(de)。這一系列傳感(gan)器均采用本公(gong)司自主研發🌈的(de)微機電🌍系統(MEMS)流(liu)量傳感芯片來(lái)制🚶作,适用于各(ge)類清潔氣🥰體。*的(de)封裝技術使之(zhi)可用于各類管(guǎn)徑,成本低、易安(an)裝、不需要溫度(dù)壓🏃🏻♂️力補償,可替(ti)代容積式⭐或壓(ya)差式的傳統流(liú)量傳🈲感器。
微小(xiǎo)氣體流量計FS4001
産品簡介:
FS4001
系列小流量(liang)氣體質量流量(liang)傳感器是廣州(zhōu)迪川儀器💞儀🔞表(biǎo)有限公司專門(mén)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(hé)過程控制而設(shè)計的。這一系列(lie)傳感器均采用(yòng)本公司自主研(yan)發的微機電系(xì)統(
MEMS
)流量傳(chuán)感芯片來制作(zuo),适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封🌈裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑,成(cheng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓🔴力(li)補償,可替代容(rong)積式或壓差式(shi)的傳統流量傳(chuán)感器。
微小氣體(tǐ)流量計FS4001
産(chan)品特點:
-
傳(chuán)感器靈敏度高(gao)
,
有極小的(de)始動流量
-
傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量
,
無需(xū)溫度壓力補償(cháng)
,
保證了傳(chuan)
-
感器的高(gao)精度計量
-
在單個芯片上(shàng)實現了多傳感(gan)器集成
,
使(shǐ)傳感器的量程(chéng)比大大提高
-
傳感器的零(líng)點穩定度高
-
全量程高穩(wěn)定性
-
全量(liang)程高精度和優(yōu)良的重複性
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低功耗
-
低壓損
-
響(xiǎng)應時間快
主要(yao)參數:
FS4001系列微小(xiao)流量計
|
性(xìng)能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
|
|
通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程比 |
2132132132131231312100:1 |
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|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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|
重複性 |
0.25 |
% 讀數 |
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|
零點(dian)輸出飄移 |
±30 |
mV |
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|
輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
|
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輸出方式 |
線性, RS232/ 模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc |
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大流(liú)量壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
大(da)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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|
工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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|
存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH (無結冰、無凝露(lù)) |
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|
機械接口(kou) |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校(xiào)準方式 |
空(kōng)氣(或其他氣體(ti)), 20oC , 101.325kPa |
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|
|
重量(liàng) |
15 |
g |
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FS4001系列微小流量(liàng)計訂貨詳(xiang)情請: 85628522
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