産(chǎn)品時間：2025-12-01
微(wei)小氣體流(liu)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是(shi)廣州迪川(chuān)儀器儀表(biǎo)有限公司(sī)專門爲各(gè)類小流量(liàng)氣體的測(ce)量和過程(cheng)控制而設(she)計的。這一(yi)系列傳感(gǎn)器均采用(yong)本公司💚自(zi)主研發的(de)微機電系(xì)統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來(lái)制作，适用(yong)于各類清(qing)潔氣體💞。*的(de)封裝技術(shù)使之可㊙️用(yòng)于各類🌍管(guan)徑，成本低(di)、易安裝、不(bú)需要溫度(du)壓力🙇♀️補償(chang)，可替代🚩容(róng)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量🤟傳(chuan)感器。
微小(xiǎo)氣體流量(liang)計,MF4001氣體流(liu)量計
FS4001MEMS）流量傳感(gan)芯片來制(zhi)作，适用于(yu)各類清潔(jié)氣體。*的封(feng)裝⭐技術使(shǐ)之可用于(yú)各類管徑(jìng)，成本低、易(yì)安裝、不需(xu)要溫度壓(ya)力補償，可(ke)替代容積(jī)式或壓差(chà)式的傳統(tong)流量傳感(gǎn)器。
産(chǎn)品特點：
微(wei)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
- 傳感器(qì)靈敏度高(gao)
,有極(jí)小的始動(dong)流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱(rè)質量流量(liang)計量
,,保證(zhèng)了傳
- 感器的高(gāo)精度計量(liang)
- 在單(dan)個芯片上(shang)實現了多(duo)傳感器集(ji)成
,使(shi)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高
- 傳感器(qì)的零點穩(wen)定度高
-
- 全量(liàng)程高精确(què)度和優良(liáng)的重複性(xìng)
- 低功(gōng)耗
- 低(di)壓損
- 響應時間(jiān)快
主(zhu)要參數：
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性能參(can)數 |
FS4001 |
單(dan)位 |
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通(tōng) 徑 |
mm |
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zui大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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精(jīng) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
% |
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零點(dian)輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出(chu)飄移 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性(xìng)， RS232/模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
pa |
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0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無結冰、無(wu)凝露） |
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機械接口(kǒu) |
可拆(chāi)式軟管接(jiē)頭 |
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校(xiào)準方式 |
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15 |
g |
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訂貨詳情(qíng)請： 85628522
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
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