流量(liang)測量技(ji)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(ti)制造業(yè)、生物工(gong)程、精細(xì)化工等(děng)的興起(qǐ)，使流量(liàng)🛀🏻測量向(xiang)低端延(yán)伸，小流(liú)量計流(liu)量的要(yao)求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來(lai)。何謂小(xiǎo)流量 ? 業界(jiè)尚無*的(de)定義和(hé)界限，小(xiao)流量因(yin)應用領(lǐng)域而異(yi)💘是👌一個(gè)模糊的(de)概念。管(guǎn)道小流(liú)量測量(liàng)體現于(yu)管徑小(xiao)和流速(su)低兩個(ge)層👣次，就(jiù)流程工(gong)業而言(yan)，習慣上(shàng) DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管(guan)徑流量(liang)測量稱(cheng)之小流(liú)量測量(liang)，通常其(qi)流量值(zhí)🆚液體爲(wèi) 1L/min 或(huo) 0.06m3/h 以(yi)下，流量(liang)儀表滿(man)度流量(liàng)時的流(liú)速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測量(liang)方法
傳統(tong)小流量(liang)測量技(jì)術節流(liú)差壓 ( 層流(liú) ) 法(fa)、浮子法(fa)和容積(jī)法等有(you)了的改(gǎi)進，新測(ce)量技術(shu)如超⛱️聲(shēng)法、熱👨‍❤️‍👨法(fǎ)、科裏奧(ao)利法等(děng)也有成(chéng)效地應(yīng)于液體(tǐ)和氣體(tǐ)小流量(liang)測量📐。
2 、特點(dian)
微(wei)小流量(liàng)與一般(ban)流量測(ce)量相比(bǐ)較，具有(yǒu)以下特(tè)點🈲。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guǎn)道流動(dòng)均爲紊(wěn)流流動(dong)，流量儀(yí)表也是(shì)針對紊(wen)流流動(dong)态設計(jì)的，而小(xiǎo)流量儀(yi)表因管(guan)徑小常(chang)處于層(ceng)流流動(dòng) ( 例(lì)如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wěn)流過渡(du)區流态(tai)流動，小(xiao)流量測(ce)量受使(shǐ)用中流(liú)體黏度(dù)變化影(yǐng)響頗大(da)。
2) 要(yao)用實際(jì)使用流(liu)體校準(zhǔn)
液(yè)體流量(liàng)儀表一(yī)般用水(shui)校準，氣(qì)體用空(kong)氣校準(zhǔn)。若知道(dao)⛷️實際測(cè)量流體(ti)與校準(zhǔn)流體間(jian)某些物(wu)性不同(tong)對示值(zhi)有規律(lü)變化時(shí)，中大管(guǎn)徑流量(liàng)儀表常(cháng)以适當(dang)系數修(xiu)正。但有(you)些小🔴流(liu)量儀🌈表(biao)受黏度(dù)等流體(tǐ)物性影(yǐng)響大，須(xu)以實際(ji)使用流(liu)體校準(zhǔn)。所幸流(liú)量小，用(yong)實際使(shǐ)用流體(ti)校準難(nan)度不大(da)，但在作(zuo)有害性(xing)流體👌校(xiao)準時應(yīng)注意安(ān)全和環(huán)境污染(rǎn)。
3) 要(yào)求測量(liàng)時防止(zhǐ)污染流(liu)體
若測量(liang)潔淨氣(qi)體和純(chun)水常不(bu)允許接(jiē)觸流體(tǐ)的儀表(biao)⚽零件材(cai)料析出(chu)離子，例(li)如半導(dǎo)體制備(bei)中儀表(biǎo)不能用(yong)金屬🌈和(hé)玻璃制(zhi)成，隻🙇🏻能(néng)用塑料(liào)。流體中(zhōng)也不允(yun)許混入(rù)活動件(jiàn)🈲的磨蝕(shi)塵粒。流(liu)量儀表(biǎo)♈流通通(tōng)道要盡(jìn)可能簡(jiǎn)🐅單，不應(yīng)有潴留(liu) ( 指(zhǐ)液體在(zài)體内不(bú)正常地(dì)聚集停(ting)留 ) 部位，防(fáng)止潴留(liú)介質變(bian)質。
4) 氣泡和(hé)塵埃附(fu)着的影(ying)響
因管徑(jing)小黏性(xing)增加，液(ye)體中微(wei)細氣泡(pào)易在管(guan)系流動(dong)過程中(zhōng)積聚變(bian)大，使測(cè)量時指(zhi)示不穩(wen)，度下降(jiàng)。流體中(zhōng)塵埃☎️附(fu)着測量(liang)元件也(yě)要影響(xiang)測量值(zhi)，例如浮(fú)子流量(liang)計的浮(fú)子上沉(chen)積有肉(ròu)眼覺察(chá)不出的(de)附着層(céng)也會影(ying)響示值(zhi)。
5) 流(liú)量儀表(biao)品種使(shǐ)用上受(shou)到一定(dìng)限制
在衆(zhōng)多測量(liàng)原理流(liú)量儀表(biao)中，因各(ge)種原因(yin)小流量(liang)應用受(shou)到一些(xie)限制，當(dāng)前能應(ying)用于小(xiǎo)流量的(de)品種如(rú)表格所(suǒ)示